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日立HITACHI扫描电镜

简要描述:日立HITACHI扫描电镜
SU8600
高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列
*设备照片包含选配项。

  • 产品型号:SU8600
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2022-10-21
  • 访  问  量:169
详细介绍
品牌其他品牌产地类别进口
价格区间面议仪器种类冷场发射
应用领域能源,电子,航天,汽车,综合

日立HITACHI扫描电镜

SU8600

高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列

*设备照片包含选配项。

 

SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还提升了高通量、自动数据获取能力。

 

特点

*高分辨成像

日立的高亮度电子源可保证了即使在低着陆电压下,也可获得高分辨的图像。

高衬度的低加速电压背散射图像

3D NAND截面观察;

在低加速电压条件下,背散射电子信号能够显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。

快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探测器,即使扫描时间不到1秒,也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像.

自动化功能*

EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。

灵活的用户界面

原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。

 

日立HITACHI扫描电镜 

技术参数

机型

SU8600 系列

电子光学系统

二次电子像分辨率

0.6 nm@15 kV

0.7 nm@1 kV *

放大倍率

20 to 2,000,000 x

电子枪

冷场发射电子源,支持柔性闪烁功能,包含阳极烘烤系统。

加速电压

0.5 to 30 kV

着陆电压 *

0.01 to 20 kV

探测器

(部分为选配项)

上探测器(UD)

UD ExB能量过滤器,包含SE/BSE信号混合功能

下探测器(LD)

顶探测器(TD)

TD能量过滤器

镜筒内背散射电子探测器(IMD)

半导体式背散射电子探测器 (PD-BSED)

新型闪烁体式背散射电子探测器(OCD)

阴极荧光探测器(CLD)

扫描透射探测器(STEM Detector)

附件

(部分为选配项)

导航相机、样品室相机、X射线能谱仪(EDS)、背散射电子衍射探测器(EBSD)

软件

(部分为选配项)

EM Flow CreaterHD Capture( 40,960×30,720 像素以下)

样品台

马达驱动轴

5轴马达驱动(X/Y/R/Z/T

马达驱动轴

X0~110 mm

Y0~110 mm

Z1.5~40 mm

T-5~70°

R360°

样品室

样品尺寸

直径可达:150 mm

*减速模式下


 


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