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HITACHI扫描电镜的产品特性介绍

时间:2022-12-05 点击次数:220
  HITACHI扫描电镜特点:
 
  *高分辨成像
 
  日立的高亮度电子源可保证了即使在低着陆电压下,也可获得高分辨的图像。
 
  高衬度的低加速电压背散射图像
 
  3D NAND截面观察;
 
  在低加速电压条件下,背散射电子信号能够显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。
 
  快速BSE图像:新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)*
 
  由于使用了新型的OCD探测器,即使扫描时间不到1秒,也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像。
 
  自动化功能*
 
  EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块,如设置放大倍率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖拽,将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和确认后,该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
 
  灵活的用户界面
 
  原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间。6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集。
 

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主要经营产品:NIKKATO氧化铝球,NIKKATO氧化锆球,EKO热导仪,PCP焚烧炉

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